Analytik
Wir analysieren Ausgasung, Partikel und chemische Rückstände für Reinraum- und Vakuumanwendungen.
Messung und Analyse der Vakuumausgasung
Wir messen die Ausgasung von Materialien und Bauteilen hauseigen mit Massenspektrometrie und erkennen kritische Kontaminationsquellen frühzeitig.
Präzise Analyse durch Massenspektrometrie und RGA-Spektren
Wir erstellen präzise RGA-Spektren, um selbst geringe Spuren unerwünschter Stoffe im Vakuum sichtbar zu machen.
Qualifizierung von Bauteilen hinsichtlich Ausgasung
Wir bewerten Bauteile gezielt auf ihr Ausgasungsverhalten und zeigen Optimierungspotenziale klar auf.
Beratung zur Restgasanalyse und Massenspektrometerauswahl
Wir beraten bei Auswahl, Kalibrierung und Integration passender Massenspektrometer für Ihre Anwendung.
Erweiterte Analysemethoden für höchste Präzision
Je nach Aufgabe ergänzen wir unsere Analytik durch bewährte Verfahren mit spezialisierten Partnerlaboren.
Material- und Oberflächenanalysen
Für Material- und Oberflächenanalysen arbeiten wir mit Partnerlaboren zusammen, unter anderem für:
- XPS (Röntgen-Photoelektronenspektroskopie)
- ToF-SIMS (Sekundärionen-Massenspektrometrie)
- REM-EDX (Rasterelektronenmikroskopie mit energiedispersiver Röntgenspektroskopie)
So lassen sich Materialien chemisch und strukturell sicher bewerten.
Partikelmessungen und Reinheitsprüfung
Zur Bewertung der Partikelsauberkeit nutzen wir unter anderem:
- Partikelzähler und Partikelfallen
- Waferauslagen zur Partikelkontrolle
- Weiß- und UV-Licht-Inspektionen
Damit erkennen wir Verunreinigungen früh und sichern Reinheitsanforderungen ab.
Zusätzliche Analysen mit externen Partnern
Weitere Spezialanalysen organisieren wir bei Bedarf mit externen Partnern, zum Beispiel:
- Optische Spektroskopie und Fluoreszenzmessungen
- Hochauflösende Temperaturmessungen
- Thermografie zur Wärmeverteilungskontrolle
Weitere Verfahren stimmen wir gern passend zu Ihrer Aufgabe ab.
Luftgetragene Partikelmessung
Wir messen luftgetragene Partikel im eigenen Haus oder direkt bei Ihnen vor Ort und prüfen so die Einhaltung relevanter Reinheitsstandards.
Umfassende Partikelmessungen nach ISO 14644
Wir erfassen luftgetragene und sedimentierende Partikel nach ISO 14644 und bewerten die Luftqualität präzise.
Flexibilität durch mobiles Partikelmessgerät
Mit unserem mobilen Partikelzähler identifizieren wir kontaminationskritische Bereiche schnell und flexibel.
Methoden zur Partikelbestimmung
Für die Partikelbestimmung setzen wir folgende Methoden ein:
- Partikelzähler (Solair 3000) zur Größenbestimmung
- Auslage von Siliziumwafern zur Partikelerfassung
- Partikelfallen zur sedimentierenden Partikelmessung
Weiterführende Auswertungen organisieren wir bei Bedarf mit externen Laboren.
Partikelmessung auf Oberflächen
Wir prüfen Oberflächen auf Partikel und unterstützen so die Qualitätssicherung in Reinräumen und sensiblen Produktionsbereichen.
Wafer-Auslagen für präzise Partikelanalyse
Mit Wafer-Auslagen erfassen und bewerten wir Oberflächenverunreinigungen im Haus oder direkt bei Ihnen vor Ort.
Optimierung der Partikelmessung mit Kamerasystemen
Bei Bedarf ergänzen wir die Messung durch kameragestützte Dokumentation für eine noch genauere Auswertung.
Tenax-Beprobung
Mit Tenax-Beprobung erfassen wir VOC und andere chemische Rückstände in der Luft. Die Proben nehmen wir vor Ort, die Auswertung erfolgt im Labor.
Total Organic Contamination (TOC)
Exakte Messung organischer Rückstände
Mit der TOC-Analyse identifizieren wir organische Verunreinigungen zuverlässig. Die Messung kann direkt bei Ihnen erfolgen, die Auswertung übernehmen externe Labore.
Chemische Luftkontaminationsanalyse
Wir unterstützen die Analyse der Luftqualität, indem wir Schadstoffe und Verunreinigungen gezielt erfassen und auswerten lassen.
VOC-Analyse
Bestimmung flüchtiger organischer Verbindungen
Für die VOC-Analyse bieten wir gezielte Beprobung und Labor-Auswertung zur Bewertung von Luftreinheit und Materialausgasung.
Analytik anfragen
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