Sauberkeitslösungen

Restgasanalyse & Sauberkeitsqualifizierung

Restgasanalyse und Ausgasbewertung für Vakuumanwendungen sowie Partikelmessungen für Reinräume und Reinraumanwendungen.

Überblick

Höchste Anforderungen an die Anlagensauberkeit sowie eine möglichst geringe Ausgasung der verbauten Komponenten sind essenziell für zahlreiche Vakuumanwendungen. Wir bieten Ihnen sowohl die Qualifizierung der Sauberkeit Ihrer Vakuumkomponenten mittels Restgasanalyse (RGA) als auch die Bestimmung von Ausgasraten einzelner Bauteile oder neuer Materialien.

Darüber hinaus unterstützen wir Sie mit unserer Erfahrung bei einer vakuumgerechten Materialauswahl im Hinblick auf Ihre Anwendung.

Zur Sauberkeitsqualifizierung Ihrer Reinräume oder Reinraumanwendungen bieten wir die Messung luftgetragener Partikel sowie der Partikelemission im laufenden Betrieb. Zur Messung und Analyse chemischer Kontaminationsquellen arbeiten wir mit externen Partnern zusammen.

Anlage für Restgasanalyse und Vakuummessungen

Unsere Schwerpunkte

Restgasanalyse im Vakuum

RGA unterstützt die Bewertung von Vakuumkomponenten, Ausgasverhalten und materialbedingten Kontaminationsrisiken.

Partikelmessungen

Für Reinräume, Anlagen und laufende Prozesse messen wir luftgetragene Partikel sowie Partikelemissionen im Betrieb.

Material- und Spezialanalytik

Wir beraten zur vakuumgerechten Materialauswahl und binden für chemische Kontaminationsanalysen spezialisierte Partner ein.

Beprobung

Sauberkeitsqualifizierung für Vakuum- und Reinraumanwendungen

Für Vakuumanwendungen stehen Restgasanalyse, Ausgasratenbestimmung und die Bewertung vakuumtauglicher Materialien im Mittelpunkt. Für Reinräume und Reinraumanwendungen ergänzen wir dies durch Partikelmessungen und die Bewertung der Partikelemission im laufenden Betrieb.

Detailaufnahme zur Materialbeprobung
Leistungsumfang

Typische Prüf- und Beratungsinhalte

Restgasanalyse (RGA) für Vakuumkomponenten
Bestimmung von Ausgasraten einzelner Bauteile und Materialien
Messung luftgetragener Partikel in Reinräumen und Anlagen
Partikelemission im laufenden Betrieb
Analyse chemischer Kontaminationsquellen mit externen Partnern
Bewertung von Sauberkeit, Vakuumtauglichkeit und Ausgasverhalten
Beratung zur vakuumgerechten Materialauswahl
Sauberkeitsqualifizierung von Reinräumen, Minienvironments und Flowbenches
Partikelmessungen als Entscheidungsgrundlage für Prozesse und Freigaben

Restgasanalyse besprechen

Wir unterstützen Sie bei Materialbewertung, Beprobung und der Auswahl sinnvoller Prüfverfahren.

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